檢漏儀在使用過程中可能會(huì)出現(xiàn)多種故障，以下是一些常見的故障及其解決方法：

內(nèi)部泄漏：檢漏儀內(nèi)部的密封結(jié)構(gòu)可能因?yàn)殚L(zhǎng)時(shí)間使用或運(yùn)輸過程中的強(qiáng)烈震動(dòng)導(dǎo)致密封膠開裂。解決方法是更換密封件，如氟橡膠圈或金屬墊片，并確保安裝時(shí)無泄漏。

本底信號(hào)不穩(wěn)定：可能是由于環(huán)境本底被污染，檢查實(shí)驗(yàn)室內(nèi)是否有氦源在泄漏，并通風(fēng)降低環(huán)境本底。也可能是泵油吸附氦氣過多，需更換泵油。

機(jī)械泵聲音異常和排氣口冒煙：可能是因?yàn)闄C(jī)械泵油太臟或機(jī)械泵未轉(zhuǎn)動(dòng)。檢查泵油是否需要更換，并確保機(jī)械泵正常工作。

分子泵不工作：可能是由于前級(jí)壓力過高或分子泵葉片或轉(zhuǎn)子損壞。檢查前級(jí)壓力和分子泵狀態(tài)，并進(jìn)行必要的維修或更換。

質(zhì)譜室故障：如果質(zhì)譜室被污染，需要送至維修中心進(jìn)行清洗。檢查質(zhì)譜室的真空度，并確保其達(dá)到檢漏要求。

靈敏度低：可能是由于質(zhì)譜室壓力未達(dá)到要求或離子源被污染。等待質(zhì)譜室壓力降至10^-6MPa以下再進(jìn)行檢漏，或清洗離子源。

氦本底太高：可能是由于機(jī)械泵油失效或系統(tǒng)有泄漏。更換機(jī)械泵油，并檢查系統(tǒng)是否有泄漏點(diǎn)。

檢漏鍵無效：可能是由于燈絲未啟動(dòng)或I/O短接插頭未插入。檢查燈絲啟動(dòng)狀態(tài)和I/O短接插頭連接情況。

設(shè)備無法啟動(dòng)：檢查電源線連接是否正確，保險(xiǎn)管是否熔斷，并進(jìn)行必要的更換 。

儀表內(nèi)部有粉塵或其它污染：取出線路板進(jìn)行吹掃和擦拭清潔。

溫度儀表輸入內(nèi)部接線端子接觸不良：撥出端子用酒精擦拭干凈，然后重新連接。如果端子磨損嚴(yán)重，需要更換新的端子。

機(jī)械真空泵故障：清洗泵體、更換泵油、更換磨損件等方法進(jìn)行維修。如果泵體磨損嚴(yán)重或無法修復(fù)，需要更換新的機(jī)械真空泵。